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設備情報 / Machine Information

モデル名
Model
メーカー名
Manufacture
機種名
Product No.
仕様
Specificatio
年式
Model Year
問い合わせ
受付終了日
Model Year
 
VX210-2AFP 日本語表記
Veeco
日本語表記
Profilometer
日本語表記
Xxxxxxxx
2000 2013年
12月25日
備考  Ramark
Veeco Dimension Vx210/AFP The Dimension Vx 210/310 Atomic Force Profiler (AFP) can deliver the unique combination of AFM resolution, long scan capability (up to 100mm) with the high vertical and lateral resolution measurements required for sub-0.25 micron features. The Dimension Vx 210/310 systems are ideal for CMP metrology applications that require both long scans for measuring planarity across an entire die as well as true AFM resolution imaging for examining tungsten plug recess, vias and metal lines.

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